微机电系统和传感器

设计用于感知或操纵物理世界的微米级设备

Amkor是世界领先的微电子封装技术和最大的外包供应商的微电子机械系统（MEMS）和微光电子机械系统（MOEMS）。我们的MEMS/传感器适用于加速计、陀螺仪、磁强计、麦克风和传感器，包括压力、温度、红外、生物医学、化学和气体。

MEMS是一种微米级的设备，可以感知或操纵物理世界。MEMS是用微加工工艺制造的，类似于生产集成电路IC器件的工艺。这使得二维或三维的机械系统可以在同一个典型的集成电路装置的小区域内创建。由于fab工艺与IC制造类似，MEMS通常是在硅片上制造的，但也可以使用其他类型的衬底。由于尺寸的原因，在一个晶圆上可以制造出数万个这样的器件。